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- 国立大学法人 東京農工大学先端産学連携研究推進センター
E-mail:urac[at]ml.tuat.ac.jp（[at]を@に変換してください）
村上 尚
ムラカミ ヒサシ
MURAKAMI Hisashi
工学研究院 応用化学部門, 教授
メールアドレス
faifai[at]cc.tuat.ac.jp（[at]を@に変換してください）
ホームページ
http://murakamilab.jpn.org/
研究分野
- A489 ナノテク・材料, A30010 結晶工学
研究キーワード
- 結晶成長、エピタキシャル成長
研究テーマ
- 窒化物半導体の気相エピタキシャル成長
教育・研究活動状況
- 次世代、次々世代のエネルギー変換デバイス、いわゆるパワーデバイス用のワイドバンドギャップ半導体材料(GaN, Ga2O3, AlN, InGaN混晶等)に関する研究開発を行っています。金属塩化物を前駆体とする気相成長により、高純度・高品質の半導体結晶を高速で成長する方法の探索を行い、将来のエネルギー問題解決やカーボンニュートラルへの貢献を目指しています。具体的には、熱力学をベースとする結晶成長挙動の予測や流体力学計算を利用した反応管設計、またそれを具現化した結晶成長装置の構築・成長実験を通して、効率的に新規の半導体材料開発・研究の推進を行っています。