エレクトロスプレーデポジション(ESD)


      
原理と特徴
高分子製膜に良く用いられるスピンコート法は、材料の利用効率が悪いという問題点があります。そこで高分子溶液をニードルに高電圧を加えて霧化するエレクトロスプレーデポジション(ESD)を行いました。これは材料の利用効率が高く、分子へのダメージも少ない特徴があります。
適用材料
ESDは広範囲の可溶性高分子材料に適用でき、通常は粒子状や繊維状の堆積物が得られますが、製膜雰囲気の制御によって平坦性の高い薄膜も形成できます。

ESDによる薄膜形成の例
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