X線マイクロアナライザー

2003年7月22日修正

準備中


技術情報
設置場所:
工学部中央棟5階  XMA室
機器の構成、型式等:
日本電子(JEOL)製 JXA-8900M
附属機器:蒸着装置、ダイヤモンドカッター、研磨機、パーソナルコンピューター(MAC)、プリンタ
原理:
0.2〜40keVの電子線を試料に当てて発生する特性X線を検出し、試料表面の元素を定性的、又は定量的に測定する。各点における測定結果より、任意の一線上の区間もしくは、ある一面における元素分析をみることができる。また、走査型電顕としての機能もあり、2次電子(SEM)像、反射電子(組成、および凹凸)像も同時に観測でき、これらと、元素分布像の関連を明確にとらえることができる。分析例を機器分析センターニュース(1994)で紹介しました。ご参照下さい。
機器の性能:
分析元素範囲 B〜U
X線分光器:波長分散形(WDS) 3基(結晶 6枚)、エネルギー分散形(EDS) 1基
   測定、利用対象となる試料名:金属材料、鉱物、触媒、ガラス、セラミック等、不揮発性の固体
利用方法:
X線作業従事者登録(庶務係扱い)を済ませた後、初心者講習(1、2カ月に1回:不定期)を受けてから利用していただきます。講習を受けた後もマニュアルを参照しながら進めてください。講習会、利用料金等は、下記に問い合わせてください。
問い合わせ先:
工学部化学システム工学科 亀山研究室 内線7156、7656(生産機械棟2階)
Mail To :tatkame@cc.tuat.ac.jp

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