複合型表面分析装置
2003年7月22日修正
技術情報
設置場所：
機器分析センター機器室６
機器の構成、型式等：
本装置は、Ｘ線光電子分析装置（ESCA850型、島津製作所製）を本体として、これに走査型オージェ電子分光装置（AES）及び２次イオン質量分析装置（SIMS）が付属しています。
機器の性能：
ESCA850は、阻止電場型エネルギーアナライザによる高感度、高分解分析とコンピュータによる多試料自動分析及び自動深さ分析を特徴としています。物質の極表面（10〜100オングストローム)の組成元素やその結合状態を知ることができます。
測定、利用対象となる試料名、または研究例：
現在は主としてESCAが利用されています。金属、半導体、絶縁体の固体の組成分析(例えば、a-Si, GaAs, SiC, SiN, TiN, Ta2O5など)に多く利用されています。有機薄膜の分析にも利用されています。測定試料の形状は、直径10 mm弱が標準です。粉末やガスを放出する試料には利用できません。
利用方法：
原則として、利用者は予め講習を受講することを条件としています。新たに利用を希望される人は、下記までお問い合わせください。予約をすることによって、自由に利用できます。利用の時間帯を(1) 9:00 - 15:00, (2) 15:00 - 21:00, (3) 21:00 - 9:00に区分し、連続利用時間は２日までを限度としています。予約は電話で上迫研（内線7810）までお願いします。
問い合わせ先：
工学部電気電子工学科 上迫浩一 内線 7133
Mail To :kamisako@cc.tuat.ac.jp
機器分析センター